Kreuztisch EZ-0755 mit Z-Theta-Modul EZ-0742

Der Kreuztisch EZ-0755 ist mit eisenlosen Linearantrieben ausgestattet für sehr hohe Gleichlaufgüte und Genauigkeit. Sein X-Hub ist 250 mm, der Y-Hub ist frei wählbar. Die Wiederholgenauigkeit ist besser als 20 nm. 

Das Z-Theta-Modul EZ-0742 erweitert das System zu einem Vierachssystem (XYZ-Theta). Z-Hub 10 mm, Theta ± 2°; Z-Kraft 1000 N. 

Luftlager XYZ-Theta Aufbau